一、歷史上有確切記載的，可以認為真空技術(shù)的歷史開始于1643年。當時，托里拆利(Torricelli)將一端密封的長管注滿水銀并倒置在盛有Hg(汞)的槽里時，發(fā)現(xiàn)了密封的玻璃管中760mm水銀柱頂端產(chǎn)生的真空。

　　二、真空技術(shù)的初創(chuàng)時期延續(xù)到電燈泡的發(fā)明。在這段時期內(nèi)，在氣體定律的基本原理方面，取得了重大的理論和實踐的科學技術(shù)突破。如玻義耳-馬里奧特，查理，蓋.呂薩克，伯努利，阿佛加德羅，麥克斯韋，玻爾茲曼等人的成就。

　　1、玻義耳-馬略特定律：它反映氣體的體積隨壓強改變而改變的規(guī)律。對于一定質(zhì)量的氣體，在其溫度保持不變時，它的壓強和體積成反比;或者說，其壓強P與它的體積V的乘積為一常量。

　　2、伯努利與氣體分子運動論：伯努利明確地敘述了氣體分子運動論，認為氣體作用在容器壁上的壓力，可以用大量的分子快速地來回運動來解釋。

　　三、真空實際使用的******個進展，是和利用真空與大氣之間的壓力差所產(chǎn)生的機械作用力聯(lián)系在一起的。葛利克用一個由兩個半球合成直徑為119cm球體，內(nèi)用真空泵抽空，在大氣壓力作用下在其兩邊各用8匹馬而不能拉開的這個經(jīng)典實驗證明了大氣的力量。(此即所謂的馬德堡半球?qū)嶒?。后人把這個原理用于真空郵遞線和真空鐵路運輸。

　　四、愛迪生對白熾燈的研制(1879年)也是早期發(fā)明排氣系統(tǒng)所產(chǎn)生的結(jié)果。(Toepler, Sprengel)白熾燈表明了低分子密度的用途(除去大氣的活性組分)。

　　五、麥克勞真空計(1874年)******次使測量低壓成為可能。

　　六、克魯克斯(Crookes，1879)的陰極射線管是增大了的平均自由程的******次利用。

　　七、而杜瓦瓶(Dewar，1893)則是真空絕熱的******使用。

　　八、真空二極管(1902)、三極管(1907)以及鎢絲(1909)的發(fā)明，開始了電子管的研制，并使白熾燈的研制日益成熟。在白熾燈生產(chǎn)中使用的真空的“質(zhì)量”在電子管的新領(lǐng)域內(nèi)顯得不足，這就促使真空的獲得和測量得到進一步發(fā)展。

　　九、皮拉尼真空計、蓋德、朗繆爾的汞擴散泵以及熱陰極電離真空計為高真空技術(shù)的發(fā)展提供了可能。

　　十、高真空技術(shù)的發(fā)展一直延續(xù)到第二次世界大戰(zhàn)前后。在1935～1936年間取得了三項新成果：氣鎮(zhèn)泵、油擴散泵以及冷陰極電離真空計。這些成果，直至現(xiàn)在仍是大多數(shù)真空系統(tǒng)的常用部件。

　　十一、1940年以后真空技術(shù)在核技術(shù)研究(回旋加速器、同位素分離等)，真空冶金，真空鍍膜，冷凍干燥設備方面有了很大進展，如1955年機械增壓泵的出現(xiàn)。

　　十二、到1950年，真空度一般能達到10-4～10-5 Pa，或許達到更低的壓強但還不能測量。1950年B-A真空計的出現(xiàn)，為測量更低的壓強開辟了道路，進入超高真空領(lǐng)域。1953年出現(xiàn)的離子泵能獲得更低的壓強，即所謂的“清潔真空”出現(xiàn)。在過去的幾十年間，為完成******科學技術(shù)的需要，真空技術(shù)向大容量化、高真空化和高清潔化的方向發(fā)展。